XPS Study of SiC Thin Layer Formed by Ion Implantation with a Metal Vapor Vacuum arc Ion Source
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香港中文大學研究人員
作者已離職


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著者YAN Hui, KWOK Wai Man Raymund, WONG Sai Peng Joseph
會議名稱Summaries of the 7th International Conference on Solid Films and Surfaces
會議國家/地區台灣
會議論文集題名Summaries of the 7th International Conference on Solid Films and Surfaces
出版年份1994
月份12
出版社National Tsing Hua University
出版地Taiwan, Hsinchu, Taiwan
頁次395
語言英式英語
關鍵詞MEVVA IMPLANTATION ; SiC ; XPS

上次更新時間 2018-17-01 於 15:42