Analysis of Annealing and Ion Implantation Effects in Ti/TiN Contacts on Silicon
Publication in refereed journal

香港中文大學研究人員

全文

其它資訊
著者WILSON Ian Howard, M. Milosavljevic, N. Bibic, D. Perusko, M.S. Stojanovic
期刊名稱Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
出版年份1990
期次B50
頁次391
語言英式英語
關鍵詞ANNEALING ; CONTACTS ; SILICON

上次更新時間 2018-24-01 於 17:37