A Protective Ti-N Barrier Layer for Ti and Pd Silicides
Publication in refereed journal

香港中文大學研究人員

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著者WILSON Ian Howard, M. Milosavljevic, N. Bibic, D. Perusko, M. Stojanovic, J. Turkovic
期刊名稱Vacuum
出版年份1990
期次40
出版地United Kingdom, UK
頁次165
國際標準期刊號0042-207X
語言英式英語
關鍵詞BARRIER LAYER ; METALLIZATION ; SILICIDES

上次更新時間 2018-24-01 於 17:37